划痕检查光源LaScan
用于缺陷检查的扫描激光“LaScan”是一种扫描微型激光线的光源，可以立即检测大范围的微小缺陷。可搭载于半导体晶圆、硬盘基板、DVD光盘的检查装置中。
即时检测大面积划痕
微米尺寸激光线
高速扫描
超紧凑（W52mm×D56mm×H66mm）
线路尺寸定制
光学系统
伤口样本
划痕检测信号
【主要规格（暂定值）】
| 激光波长 | 450nm 520nm 650nm等 |
| 激光输出 | 50mW（最大） |
| 行宽 | 50微米 |
| 线长 | 100微米 |
| 工作距离 | 100毫米 |
| 扫描角度 | ±10度 |
| 扫描频率 | 60Hz（最大） |