无掩模曝光系统PALET制品特长

“无掩模曝光设备虽然方便，但要花费数千万日元，所以还是放弃吧

。”此外，该系列还包括手动载物台模型，这对于无掩模曝光系统来说是不常见的。
您可以以较低的初始投资建立研究环境（*3）。

最大曝光面积为25毫米（*4），最小曝光线宽为3μm，您可以选择您的研究区域，但高自由度和低安装成本将有力地协助您的研发。

*3可以从手动载物台型号升级为电动载物台型号。

*4对于需要更大曝光范围的客户，我们有“100大舞台型号”可供选择。