振动观测装置产品特点
振动观测装置产品特点
可视化高频振动分布！
MEMS技术现在不仅应用于半导体等电子工业，还应用于物性研究、生物技术、器件开发等各个领域。
在无线通信领域，这种MEMS技术被用来开发可在高频范围内使用的设备。
萨格纳克干涉仪振动观测设备可以可视化GHz频段高频器件（压电薄膜、SAW滤波器、FBAR等）的振动分布。
观测频率最高支持6GHz！可进行高频探测！
支持高达6GHz的振动观测，用于5G设备的振动观测。
它还兼容高频探头的安装，从而可以驱动器件并观察晶圆级的振动。
一台设备可用于分析SAW滤波器和BAW滤波器等多种设备的振动分布。
观察实例
通过激光扫描收集有关位置、幅度、相位和反射强度的信息。（振幅值是相对值）
根据采集到的位置、振幅、相位信息显示振动分布。振动分布也可以通过 2D 和 3D 视频进行检查。
不同驱动频率导致的振动模式变化的可视化 (FBAR)
观察电极泄漏的表面声波
通过使用 FFT/IFFT 处理选择任何部件，您可以仅过滤和分析特定的振动模式。
通过激光扫描进行高速数据采集
数据收集采用使用移动探针激光的扫描方法。将 X 轴方向的数据采集间隔设置为最小值 0.1 µm 不会改变数据采集速度。
Y 轴方向的数据采集间隔也可设置为最小 0.1 µm。