可视化高频振动分布！

 MEMS技术现在不仅应用于半导体等电子工业，还应用于物性研究、生物技术、器件开发等各个领域。

在无线通信领域，这种MEMS技术被用来开发可在高频范围内使用的设备。
萨格纳克干涉仪振动观测设备可以可视化GHz频段高频器件（压电薄膜、SAW滤波器、FBAR等）的振动分布。