萨格纳克干涉仪振动观测装置观察实例
观察实例
通过激光扫描收集有关位置、幅度、相位和反射强度的信息。(振幅值是相对值)
根据采集到的位置、振幅、相位信息显示振动分布。振动分布也可以通过 2D 和 3D 视频进行检查。

不同驱动频率导致的振动模式变化的可视化 (FBAR)

观察电极泄漏的表面声波

通过使用 FFT/IFFT 处理选择任何部件,您可以仅过滤和分析特定的振动模式。

通过激光扫描进行高速数据采集
数据收集采用使用移动探针激光的扫描方法。将 X 轴方向的数据采集间隔设置为最小值 0.1 µm 不会改变数据采集速度。
Y 轴方向的数据采集间隔也可设置为最小 0.1 µm。
