萨格纳克干涉仪振动观测装置观察实例

 

通过激光扫描进行高速数据采集

数据收集采用使用移动探针激光的扫描方法。将 X 轴方向的数据采集间隔设置为最小值 0.1 µm 不会改变数据采集速度。
Y 轴方向的数据采集间隔也可设置为最小 0.1 µm。