日本neoark新舟振动观测装置MLD-101P
规格
规格
基本规格
| 产品型号 | MLD-101C （通用型号，带选件） |
MLD-101P （晶圆兼容型号） |
MLD-103 （紧凑型） |
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|---|---|---|---|---|
| 兼容样品 | 带 SMA 连接器的设备 | 晶圆（最大8英寸） | 带 SMA 连接器的设备 | |
| 观察频率 | 500MHz~3GHz（A型） 3GHz~6GHz（B型） |
500MHz~3GHz（A型） 3GHz~6GHz（B型） |
500MHz 至 3GHz （可根据要求兼容 6GHz） |
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| 振动检测方式 | 使用 Sagnac 干涉仪进行幅度和相位检测 | |||
| 观察方法 | 使用载物台控制进行激光照射位置扫描观察 | |||
| 光源/观察轴 | 半导体激光器（观察轴：面外方向*面外振动检测） | |||
| 附加物镜放大倍率 | ×100（WD12mm、光斑直径1μm典型值）、×50（WD 3.4mm、光斑直径5μm典型值） *×5（用于确认观察位置） |
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| 测绘（电控） | 测绘位置分辨率：0.1μm，最大测绘（观察）范围：25×25mm | |||
| 调焦（电控） | 焦点位置分辨率：0.2μm，焦点范围：±15mm | |||
| 数据记录格式 | 图像：JPEG，视频：AVI，幅度/相位信息：CSV | |||
| 设备配置 | 主体（光学系统/载物台）激光电源 载物台 驱动器 变频单元 锁相放大器 信号发生器（2ch） PC、显示 观察软件 |
主体（光学系统/载物台）激光电源 载物台 驱动器 变频单元 锁相放大器 信号发生器（2ch） PC、显示 观察软件 |
主体（光学系统/载物台） 激光电源 *内置载 物台驱动器 *内置 变频单元 *内置 锁相放大器 *内置 信号发生器（2ch） 笔记本电脑 观察软件 |
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| 公用事业 | AC100V，功耗1.7kVA以下 | |||
| 外形尺寸 （重量） |
主体 | 600（宽）×600（深）×1350（高）mm （约270kg） |
600（宽）×600（深）×1350（高）mm （约270kg） |
300（宽）×450（深）×450（高）mm （约30kg） |
| 架子 | 600（宽）×630（深）×1600（高）mm （约40kg |
600（宽）×630（深）×1600（高）mm （约40kg） |
无需机架 （桌子周围安装外部设备） |
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*产品外观和规格如有更改，恕不另行通知。
*可根据客户要求提供额外支持，例如仅提供萨格纳克干涉仪或添加真空室。