萨格纳克干涉仪振动观测装置产品特点

产品特点

MEMS技术现在不仅应用于半导体等电子工业，还应用于物性研究、生物技术、器件开发等各个领域。

在无线通信领域，这种MEMS技术被用来开发可在高频范围内使用的设备。
萨格纳克干涉仪振动观测设备可以可视化GHz频段高频器件（压电薄膜、SAW滤波器、FBAR等）的振动分布。

支持高达6GHz的振动观测，用于5G设备的振动观测。

它还兼容高频探头的安装，从而可以驱动器件并观察晶圆级的振动。
一台设备可用于分析SAW滤波器和BAW滤波器等多种设备的振动分布。

通过激光扫描收集有关位置、幅度、相位和反射强度的信息。（振幅值是相对值）
根据采集到的位置、振幅、相位信息显示振动分布。振动分布也可以通过 2D 和 3D 视频进行检查。

不同驱动频率导致的振动模式变化的可视化 (FBAR)

观察电极泄漏的表面声波

通过使用 FFT/IFFT 处理选择任何部件，您可以仅过滤和分析特定的振动模式。

数据收集采用使用移动探针激光的扫描方法。将 X 轴方向的数据采集间隔设置为最小值 0.1 µm 不会改变数据采集速度。
Y 轴方向的数据采集间隔也可设置为最小 0.1 µm。

专门为此设备创建的专用观察软件不仅包括显微镜操作所需的基本控制功能，还包括样品倾斜校正和焦点校正功能等多种功能。用于驱动样品上的弹性波的信号发生器和锁定放大器的灵敏度设置也可以在软件上操作。
还实现了频率表设置功能，以连续测量不同驱动频率下的数据。

显示幅度、相位和反射强度的输入电平。

设置观察条件。

对采集的数据进行确认、保存、加载、过滤等。

配备每次在Y方向上任意数量的线收集数据时执行焦点校正的功能，以防止在长期数据收集过程中由于温度变化而导致焦点偏移。
预先设置观察范围四边的 XYZ 坐标和焦点校正点。然后，在收集数据时，检测焦点校正点处的散焦量，并通过添加散焦量来校正焦点方向。