光学外差微振动测量装置
光学外差微振动测量装置
概述/规格
一种利用激光多普勒效应
测量微小振动的频率和振幅的装置。
| 响应频率 | 1~200MHz |
|---|---|
| 最大测量速度 | 5米/秒 |
| 测量光斑 直径 |
约φ10μm |
特点/应用
高刚性外壳即使在桌面上也能精确测量 200MHz 振动
能够测量垂直（面外）振动和横向（面内）振动
易于操作的显微镜光学系统和直观的信号输出
可通过软件进行振动分析、动画等（可选）
MEMS器件、晶体谐振器、SAW器件等的振动分析
产品信息
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