步进机的用途

步进机的用途

步进机用于光刻工艺中使用掩模的曝光处理，特别是在半导体和液晶的制造中。

步进法包括步进重复法和扫描仪，步进重复法对晶圆进行逐步曝光，因为一次可以转移的面积较小，扫描仪以与曝光速度相对应的速度同步扫描掩模版和晶圆。投影放大倍率。后者有时被视为扫描仪，以区别于步进机。