什么是踏步机

 步进曝光机是一种用于光刻（半导体和液晶制造工艺）的投射曝光设备。

随着IC电路图案的小型化，制作全尺寸光掩模图案变得困难，这意味着在对大于实际尺寸的掩模图案进行缩小投影曝光时进行分步重复曝光的曝光设备。在分步重复法中，当对半导体晶片或液晶基板进行曝光时，曝光区域被分成几个部分，一旦一个部分被曝光，就移动下一个部分(步进)，并重复曝光。指（重复）。

步进机是一种曝光设备，它在步进和重复的同时对整个待曝光区域进行曝光。