半导体材料原理

 硅片是最常用的半导体材料(晶圆),是由高纯度硅制成的圆形薄板。


1、单晶拉制工艺
在硅片的生产中,硅首先经过精炼和精炼,制造出高纯度的多晶硅,然后可以将其作为原料,通过单晶拉制工艺生产单晶锭。

在单晶拉制过程中,多晶硅与硼酸(B)和磷(P)一起在石英坩埚中熔化,籽晶硅棒附着在熔融硅的液面上并在旋转的同时拉升。制作水晶锭。此时添加的微量硼酸和磷极大地影响最终产品半导体的电性能。

2. 晶圆加工流程
单晶锭在接下来的晶圆加工工序中被切成晶圆,然后抛光至镜面光洁度,以消除晶圆表面的任何凹凸不平。抛光也称为抛光,此阶段的晶圆称为抛光晶圆。

抛光后的晶片可以直接用作半导体。为了满足半导体制造商的要求,我们增加了特殊加工,以用于小型产品,通过高温热处理(退火处理)去除晶片表面的氧,并在气相中生长硅单晶(外延生长)在晶圆表面制作外延晶圆等。