什么是电子束光刻系统？

 电子束光刻系统是用于绘制LSI（大规模集成）电路图案的设备。

手机、电脑等电子设备中内置有被称为LSI的半导体电子电路部件。

设计LSI电路后，需要使用电子束将电路图案印刷到标线（相当于卤化银摄影中的胶片）上。

此时，需要将尺寸和位置误差保持在2至5nm以内。

电子束光刻设备用于使用电子束以这种精度将电路图案印刷到掩模版上。