电子束光刻设备的应用

 电子束光刻设备用于LSI中使用的超精细电路的印刷工艺。

LSI可以说是电子设备中必不可少的部件。

例如，LSI被用作移动电话、个人电脑、游戏机、相机等的部件。

LSI的设计根据应用而变化，有适合通信设备、电源、音频处理、图像处理、传感器和AI等各种领域的LSI。

为了适应各种LSI设计图案，使用电子束光刻设备将使用CAD （计算机辅助设计）设计的电路图案印刷到掩模版上。