曝光设备的使用

 曝光设备主要用于半导体制造地点和平板显示器(FPDS)制造地点,包括液晶显示器。

在半导体制造过程的情况下,使用硅晶片作为底物形成氧化物膜,然后使用光致抗光(光敏感材料),并用曝光装置从曝光装置发出的强紫外光照射涂层表面。这允许通过蚀刻或其他方式去除不必要的部分。这种使用曝光装置的方法称为光刻。

在液晶显示器的制造过程中,通常使用玻璃基板,重复重复沉积薄膜(例如金属)的薄膜,并重复蚀刻。

一种底物可用于形成带有像素电极和开关元件(例如TFT元素)的彩色滤波器,另一种基材可用于形成带有三种原色(红色,绿色和蓝色)的彩色滤镜。通过将两个板粘贴在一起并在它们之间放置液晶材料,可以完成LCD显示屏的面板。

在选择曝光设备时,它非常昂贵,因此有必要在与设备制造商进行彻底咨询有关曝光,准确性和舞台精确度的光的类型后进行全面咨询。