什么是离子植入装置？

 离子植入器是一种通过将电离材料注入另一种材料来改变植入物质的性质的设备。

诸如广泛用于半导体的单晶硅晶片之类的材料是绝缘材料。通过将不同物质的离子植入其中，可以更改其电性能。

离子植入设备主要用于杂质植入过程，制造半导体设备，也用于改变半导体以外的材料中材料的性质。本节解释了半导体制造过程中使用的离子植入设备。