呼吸器原理
血浆是一种离子气体，具有高反应性。当氧气变成血浆时，它会与碳和氢反应非常好，因此，如果将碳氢化合物聚合物（例如塑料）放入氧血浆中，它们将消失。
纯碳氢化合物由碳和氢组成，因此在与氧，水和二氧化碳反应后，反应后什么都没有。对半导体制造的抵抗是由碳氢化合物聚合物制成的，但是它们包含添加剂，溶剂，光敏剂等，因此，当需要这些最佳的等离子体条件时，需要将其匹配。
臭氧不会将氧分子激活为血浆，而是从氧分子中产生高反应性臭氧，并将其引入反应室。目前，通过辐照紫外线，臭氧产生称为氧自由基的原子氧，它具有更具反应性，并且与抗抗性反应。
氧血浆和氧自由基之间的差异在于，氧血浆是一定百分比的氧原子的阳离子，但是氧自由基是电中性的，因此氧等离子体更具活性。