如何选择离子注入机

 离子注入的参数有很多变化，例如所用的离子类型、离子的动能和剂量、需要注入的晶圆的尺寸和类型等。因此，单个离子注入机很难处理所有的离子注入工艺。

例如，当注入高浓度的磷或硼离子时，需要使用大电流、高能量的离子注入机。此外，当需要注入离子的晶圆是SiC等高温工作的功率器件晶圆时，需要使用能够将晶圆加热到高温的设备。

另一方面，离子注入设备是昂贵的制造设备。选择离子注入设备时，需要考虑注入的离子种类、注入量、适用晶圆尺寸等必要条件。在此基础上，仔细权衡设备价格与产量之间的关系至关重要。