什么是灰化装置
灰化设备是去除半导体制造等中使用的抗蚀剂的装置。灰化是变成灰烬的意思，顾名思义，它是利用等离子或臭氧将抗蚀剂变成灰烬并将其去除。
在半导体制造中，光刻胶是一种保护膜，涂在硅片表面，然后在特定区域进行曝光，以形成微结构。完成后，光刻胶会被去除。
在半导体制造中，灰化设备用于处理硅片，因此它是一种能够运输硅片的大型设备。
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