灰化设备的应用

 灰化设备用于半导体制造过程中剥离离子注入物、去除抗蚀剂等聚合物以及在制造 CCD 时去除彩色滤光片。

灰化方法有两种：等离子灰化（利用等离子体）和臭氧灰化（利用臭氧与碳氢化合物发生反应）。更常见的方法是等离子灰化，它通过向等离子体中加入氧气来提高反应性，从而增强灰化效果。