激光测量仪器工作原理

 

激光测量仪器 核心工作原理

激光本质是单色、准直性极好的光,几乎不发散,利用光的传播、反射、三角几何、干涉、飞行时间等物理效应来测距离、尺寸、轮廓。不同类型原理不一样,分开讲:

1. 三角法(激光位移传感器 / 线激光轮廓仪,工业最常用)

适合近距离测高度、台阶、平整度、轮廓

  1. 激光器发射一束激光,打在被测工件表面,形成光点;
  2. 表面反射的光,被另一侧的 CCD/CMOS 感光芯片接收;
  3. 工件高度变化 → 反射光点在感光芯片上的位置随之移动;
  4. 根据三角形几何关系,算出被测点高度。

线激光轮廓仪:打出一条激光线,一次采集一排点,得到 2D 轮廓。 ✅ 优点:结构简单,响应快;❌ 量程不大,远距离精度下降。

2. TOF 飞行时间法(激光雷达、TOF 测距传感器)

适合中远距离测距,料位、体积测量、LiDAR

  1. 发射激光脉冲,同时开始计时;
  2. 激光打到物体反射回来,探测器接收;
  3. 记录光往返飞行时间;
  4. 距离 = 光速 × 飞行时间 ÷ 2

✅ 远距离可用;❌ 精度一般(毫米级,不如三角法)

3. 相位法(手持激光测距仪)

手持激光尺常用

  1. 发射调制正弦激光(光强周期性变化);
  2. 激光反射回来,对比发射光和接收光的相位差;
  3. 由相位差换算出距离。

✅ 精度好,几十米测距;❌ 强光环境容易受干扰。

4. 激光干涉法(激光干涉仪,超高精度校准)

机床校准、计量实验室,纳米级精度 把一束激光分成两束:参考光(固定镜面反射)+测量光(打到移动靶镜)。 两束光回来叠加产生干涉条纹;靶镜移动,条纹就移动。 通过数条纹数量,计算靶镜位移。 利用光的波长相位,精度可达纳米级别。

5. 激光共聚焦(共聚焦显微镜,微观形貌)

激光通过小孔聚焦在样品表面,只有焦点位置的反射光可以穿过小孔被接收; 上下移动镜头,逐层扫描,得到微观表面三维形貌,测粗糙度、微小台阶。

6. 激光投线 / 水平仪

只利用激光准直直线传播特性,生成水平 / 垂直基准线,不做尺寸测量,只做定位标线。