激光测量仪器精度汇总（按原理 / 设备分类）

注意：精度≠量程，一般量程越大，绝对精度越差；分绝对精度（μm、nm），方便你工业选型参考

1. 激光三角法（激光位移传感器、线激光轮廓仪）

近距离主流工业方案

• 普通经济型：±10 ~ ±50 μm
• 高精度型号：±0.5 ~ ±5 μm（小量程，几毫米～几十毫米量程）

例：量程 10mm 的高精度激光位移传感器，可达亚微米级别；量程拉到几百毫米，精度掉到几十 μm

2. 激光干涉仪（机床校准、长度基准，最高精度之一）

基于激光波长，纳米级

• 常规商用：±0.01 ~ ±0.1 μm（10~100 nm）
• 实验室计量级：可到几 nm

局限：对环境敏感（温度、气流、振动），多用于设备标定，不适合产线工件直接测量

3. 激光共聚焦测量仪（微观形貌，晶圆、粗糙度）

• 0.01 μm（10 nm）级别，垂直方向分辨率极高；适合微小表面、微观台阶、粗糙度检测

4. 相位式手持激光测距仪（量房、工地）

• 普通：±1.5~3 mm
• 高端工业款：±0.5~1 mm

几十米量程，精度毫米级

5. TOF 激光测距 / 激光雷达

• 近距离工业 TOF：±1~3 mm
• 远距离 LiDAR（几十米～百米）：±1~5 cm

适合体积、料位，不适合精密尺寸检测

6. 碟式 / 双激光测厚仪（薄膜、极片在线测厚）

属于三角法衍生

• 薄膜 / 锂电极片：±0.2 ~ ±2 μm

简明总表

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